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半導體高濃度臭氧氣體檢測儀 日本Ebara Jitsugyo EG-610

    品牌:日本EBARA JITSUGYO

    量程:0-10,20,30,40,99.9,200,300,400g / m3

    介紹:通過電池的特殊結構可以測量大體積,高壓的臭氧氣體

    優點:內置式臭氧濃度計,最高支持20L/min

    應用:?監測臭氧發生器輸出 ?監測處理后的殘余臭氧 ?飲用水處理 ?廢水處理 ?工業臭氧工藝 ?半導體臭氧工藝

    描述:注:EG-600已停產,現型號為EG-610 EG-610型OZONE MONITORS(以下稱為顯示器)是配備微處理器的嵌入式顯示器。它們已經發展為用于控制半導體制造過程中的臭氧濃度以及用于控制在同一過程...

    市場參考價格: 55000元

  • 產品詳情

注:EG-600已停產,現型號為EG-610

    EG-610型OZONE MONITORS(以下稱為顯示器)是配備微處理器的嵌入式顯示器。它們已經發展為用于控制半導體制造過程中的臭氧濃度以及用于控制在同一過程中使用的高濃度臭氧發生器的傳感器。它由主體(控制單元)和檢測器單元組成,僅通過將管道連接到檢測器單元的兩端即可連續測量臭氧濃度。使用此監視器,可以使用外部信號或前面板上的開關輕松執行零位校準。除零氣體吸入(采樣氣體吹掃)計時器外,還有另一個內置的時間間隔計時器,可以以任意設置的時間間隔定期執行零校準。即使在關閉電源時,也會存儲此時獲得的零校準值,并在下次打開電源時應用 很后的零校準值。自診斷功能監視并顯示監視器內部的異常。由于此監視器在檢測器單元內部具有內置溫度傳感器,因此可以執行氣體溫度補償。類似地,由于壓力傳感器內置在檢測器單元中,因此氣壓可以自動補償為大氣壓。通過使用可選的串行端口,您可以通過與主機進行數據通信來獲取更準確的數字數據。


內置式臭氧濃度計, 很高支持20 L/min。這是EG-600的新產品。
 
壓力補償和溫度補償是標準設備,即使在壓力管線上也可以進行準確的臭氧測量。通過豐富的輸入/輸出信號和通訊軟件支持各種系統。連續測量公式可實現快速響應。
 
名稱:在線臭氧監測儀
型號:EG-610
實測流量:0.5至20 L / min
*即使以0.1 L / min或更低的規定流量也可以進行測量,但是臭氧分解和響應時間可能會有所延遲。
測量濃度范圍:0至10.0,20.0,30.0,40.0,50.0,100,200,300,400,500,1000,2000,3000g / m 3(N)/ 0至10.0,20.0wt%
*請聯系我們以獲取其他濃度列出。另外,對于沒有壓力補償的情況,為500g / m 3(N)和1000g / m 3(N),濃度范圍為2000g / m 3(N)或更高用于可選的減壓校正。
顯示位數:4位數字顯示
泵:
*需要樣氣壓力。根據測量條件,也可以使用外部泵進行抽吸。
壓力補償:標準:0至0.3 MPa(G)
選件:絕對壓力傳感器500至1961 hPa(abs),減壓傳感器(測量范圍2000 g / m 3(N)或更高時)10至343 hPa(abs)
溫度補償:0℃校正(標準設備)
外形尺寸:控制單元:72W x 200D x 200H mm
檢測單元:110W x 90D x 160H mm
(不包括突起)
重量:控制單元:1.6千克
檢測單元:1.6千克
接口:1/4英寸管的VCR等效接頭(可更換)
電源:標準:AC100-240V±10%,50 / 60Hz
選件:DC24V規格
能量消耗:25VA
監控輸入:自動零定時輸入,光耦合器驅動
監控輸出:溫度報警,測量信號,監控錯誤
模擬量輸出:標準:DC0至1V / DC0至10V
選件:DC4至20mA絕緣
數字量輸出:選件:RS-232C,通訊軟件
自我診斷功能:檢測并顯示光源異常,電池臟污和內部電路異常
測量方式:紫外線吸收法
制作者:bar原知世株式會社
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